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    序號(hào) 
   
   
    特征 
   
   
    4吋、5吋、6吋襯底參數(shù) 
   
  
      
  
      
   
    1
   
   
    摻雜劑
   
   
    
      
     N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus
    
      
    
      
     P,P+:Boron
    
      
         		
  
      
  
      
   
    2
   
   
    晶向
   
   
    <100>,<111>,<110>
      
         		
  
      
  
      
   
    3
   
   
    電阻率
   
   
    0.001～1.0～100～10000Ω?cm
   
  
      
  
      
   
    4
   
   
    電阻率均勻性
   
   
    ≤25%
      
         		
  
      
  
      
   
    5
   
   
    厚度
   
   
    150～5000μm
   
  
      
  
      
   
    6
   
   
    總厚度變化
   
   
    ≤5um
   
  
      
  
      
   
    7
      
         		
   
    局部平整度
   
   
    ≤1.5um
   
  
      
  
      
   
    8
   
   
    翹曲度/彎度
   
   
    ≤35um
   
  
      
  
      
   
    9
   
   
    氧含量
   
   
    8.0～18.0ppma 
   
  
      
  
      
   
    10
   
   
    碳含量
   
   
    ＜1.0ppma
   
  
      
  
      
   
    11
   
   
    位錯(cuò)/氧化層錯(cuò)
   
   
    ＜100ea/cm2 
   
  
      
  
      
   
    12
   
   
    滑移線
   
   
    NONE
   
  
      
  
      
   
    13
   
   
    表面：霧、劃傷、凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪、崩邊、沾污
      
         		
   
    NONE 
   
  
      
  
      
   
    14
   
   
    背面：崩邊、劃傷、凹坑、裂紋
   
   
    NONE
      
         		
  
      
  
      
   
    15
   
   
    表面顆粒
      
         		
   
    
      
     
      
      
       
      
        
         
      
          
      
         
      
              		
       
      
            
     
      
    
      
    
      
     ≥0.2um的≤30um 
    
      
    
      
     ≥0.5um的≤3um 
    
      
    
      
     ≥0.3um的≤10um 
    
      
    
      
     
      
    
      
         		
  
      
  
      
   
    16
   
   
    表面金屬
   
   
    ≤5E10
      
         		
  
      
       

      

          
      

      


      
	
      
    	
        
        	
      • 電話:13705597336
        電話:13956270581
        • 
            
            
      • 黃山芯微電子股份有限公司
        地址：安徽省黃山市祁門縣新興路449號(hào)
        • 
        
      
    
      

      



      
  


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