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      序號(hào) 特征 4吋、5吋、6吋襯底參數(shù)
      1 摻雜劑

      N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus

      P,P+:Boron

      2 晶向 <100>,<111>,<110>
      3 電阻率 0.001~1.0~100~10000Ω?cm
      4 電阻率均勻性 ≤25%
      5 厚度 150~5000μm
      6 總厚度變化 ≤5um
      7
      局部平整度 ≤1.5um
      8 翹曲度/彎度 ≤35um
      9 氧含量 8.0~18.0ppma
      10 碳含量 <1.0ppma
      11 位錯(cuò)/氧化層錯(cuò) <100ea/cm2
      12 滑移線(xiàn) NONE
      13 表面:霧、劃傷、凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪、崩邊、沾污
      NONE
      14 背面:崩邊、劃傷、凹坑、裂紋 NONE
      15 表面顆粒


      ≥0.2um的≤30um

      ≥0.5um的≤3um

      ≥0.3um的≤10um


      16 表面金屬 5E10

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      • 黃山芯微電子股份有限公司
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